IOL觀察
數(shù)據(jù)
報(bào)告
冷暖智造
EN
7月18日，蚌埠市自然資源和規(guī)劃局公示了安徽匯氟新材料科技有限公司年產(chǎn)40噸三氟化氯和40噸氟氮混合氣項(xiàng)目。
公示顯示，該項(xiàng)目位于安徽省蚌埠市淮上經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)淝河北路北側(cè)，總投資1億人民幣，分二期建設(shè)。其中，一期建設(shè)年產(chǎn) 20 噸電子級(jí)三氟化氯和 40 噸電子級(jí)氟氮混合氣生產(chǎn)裝置（線）各 1 套，計(jì)劃 2024 年 2 月前投產(chǎn)；二期再建設(shè)年產(chǎn) 20 噸電子級(jí)三氟化氯（C1F3）生產(chǎn)裝置（線）1 套，計(jì)劃 2024 年 8 月前投產(chǎn)。
據(jù)了解，項(xiàng)目產(chǎn)品三氟化氯是迄今為止發(fā)現(xiàn)反應(yīng)活性最強(qiáng)的化合物之一，主要用于半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域化學(xué)氣相沉積后工序 CVD 反應(yīng)室內(nèi)壁、爐管、部件的表面蝕刻清洗環(huán)節(jié)，也是制備高端含氟高能材料的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，其衍生出來(lái)的新型氟金屬基含能材料和氟氮氧基含能材料在某些特殊場(chǎng)景具有更大的拓展應(yīng)用潛力。
